高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたBi2Te3およびSb2Te3熱電薄膜の作製
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May 17th, 2024
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May 17th, 2024
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Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates
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