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Dépôt de couches atomiques du dioxyde de Vanadium et un modèle optique dépend de la température

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11:10 min

May 23rd, 2018

DOI :

10.3791/57103-v

May 23rd, 2018


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0:04

Title

0:56

Atomic Layer Deposition (ALD) of Amorphous Vanadium Dioxide (VO2 ) on Sapphire Substrates

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Annealing Amorphous VO2 Thin Films

4:45

Characterization of VO2 Films by Raman Spectroscopy

5:43

Characterization of VO2 Films by X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

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Morphological Characterization by Atomic Force Microscopy (AFM)

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Results: Characterization of Amorphousand Crystalline VO2 Films

10:49

Conclusion

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