Herstellung von thermoelektrischen Bi₂Te₃- und Sb₂Te 3-Dünnschichten unter Verwendung der Hochfrequenz-Magnetron-Sputtertechnik

Unsere Forschung konzentriert sich auf die Herstellung hochwertiger Dünnschichten für thermoelektrische Generatoren, um Abwärme zurückzugewinnen und in Strom umzuwandeln. Verschiedene Dünnschichtabscheidungstechniken wurden erforscht und entwickelt, darunter das Hochfrequenz-Magnetron-Sputtern, das in der Lage ist, hochdichte, robuste Dünnschichten mit besserer Haftung und hoher Gleichmäßigkeit zu erzeugen. Diese Methode erfordert kein Schmelzen und Verdampfen der Zielmaterialien, so dass die meisten Materialien unabhängig von ihrer Schmelztemperatur abgeschieden werden können, was sie anderen physikalischen Gasphasenabscheidungstechnologien überlegen macht.