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In vitro Analyse cellulaire multiparamétrique par des réseaux de transistors à effet de champ à modulation de charge micro organique

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10:05 min

September 20th, 2021

DOI :

10.3791/62907-v

September 20th, 2021


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Chapitres dans cette vidéo

0:04

Introduction

1:12

Substrate Selection, Preparation, and Floating Gates (FG): Titanium Deposition

2:11

FG Patterning and Gate Dielectric Deposition

3:55

Opening of the Sensing Areas of the OCMFET for Electrical Activity Recording and Formation of the Vias to Access the Back of the FGs

4:46

Self-Alignment of Source and Drain with the FG

5:15

Gold Deposition, Channel Formation, and Patterning of the Sources, Drains, and Control Gates

6:50

Deposition and Activation of the Parylene C for pH Sensing

7:57

Semiconductor Deposition, Culturing Chamber Placing, and Final Cut-Out of the Device from the PET

8:22

Results: Cellular Electrical and Metabolic Activity Recordings with Micro OCMFET Arrays (MOA)

9:27

Conclusion

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